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  • × 25th International Conference on Vacuum Technique and Technolog
  • × Deposited coatings
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1 Investigation of gas discharge features during HiPIMS using optical emission spectroscopy [会议论文]

作者:Karzin, V.V.^1, Karapets, K.I.^1

关键词:Deposited coatings;Direct current;...

会议举办机构:Saint Petersburg Electrotechnical University LETI, Saint Petersburg

会议时间:2018

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